MEMS技术前沿与应用发展

本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。